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전자현미분석기
Electron Probe Micro-Analyzer

영문약어 EPMA
장비명(한글) 전자현미분석기 
기기코드 AE11
연구장비표준분류
기기상태 양호 
AE11.gif

부서 및 장비담당자

부서 및 장비담당자
지역 대덕본원 
주소 (34133)
대전광역시 유성구 과학로 169-148 한국기초과학지원연구원 
보유센터 및 부서 대덕본원 융합소재EM연구팀 
장비담당자 이석훈, 김준호
전화 042-865-3443, 042-865-3682  
팩스 042-865-3645 
메일 shlee@kbsi.re.kr  

Spec 및 활용분야

원리 및 특징
    · 전자총으로부터 방출된 가속 전자빔이 잘 연마된 시료표면에 1~100㎛의 크기로 충돌하여 시료로부터 원소별로 고유한 파장(에너지)을 갖는 특성 X선이 발생한다. 이 X선의 세기를 점출기로 측정하여, 시료의 화확조성을 규명하는 분석장치이다.

    장점으로는 높은 에너지 분해능, 비파괴 분석, 빠른 분석, 정확한 정량 화학분석, 적은양의 시료 분석 가능, Be - U까지 분석 가능, SEM 기능 동반 등이 있다.
구성 및 성능
    ○분석 장치 : 4채널 (채널 당 분석결정 2개씩 장착)에 WDS와 1개의 EDS
    ○가속전압 및 전류 (max) : 30kV, 100𝞵A
    ○전자 방출원 : W(텅스텐)
    ○탈출각 : 52.5도
    ○관찰영상 : SEI, BSEI, ABSI, X선영상 (x100-x100,000) 및 광학영상(x400)
    ○정성 및 정량 화학분석 범위 : Be~U
    ○측정하한 : 100ppm (15kv, 20nA)
    ○정밀도 : 0.5%
활용분야
    ○광물의 화학조성, 생성환경 및 상 평형 연구
    ○미세구조의 화학조성분석, 원소확산 및 분포
    ○각종재료(신소재, 금속, 전자 및 반도체)의 화학특성분석
    ○생물세포 및 의약품의 화학조성분석
    ○지질박편, 연마편, 전지시료, 토양가루 등 고체 시료에 대한 함량분석 측정

장비 공지사항


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