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구조분석용 고분해능 주사전자현미경
Analytical High Resolution Scanning Electron Microscope

영문약어 Analytical HR-SEM
장비명(한글) 구조분석용 고분해능 주사전자현미경 
기기코드 ST014
연구장비표준분류
기기상태  
구조분석용 고분해능 주사전자현미경

부서 및 장비담당자

부서 및 장비담당자
지역 서울센터 
주소 (02855)
서울특별시 성북구 인촌로 22길 6-7 고려대학교 자연캠퍼스 내 한국기초과학지원연구원 
보유센터 및 부서 서울센터 시공간분자이미징연구팀 
장비담당자 김상구
전화 02-6943-4181 
팩스 02-920-0789 
메일 sgk07@kbsi.re.kr  

Spec 및 활용분야

원리 및 특징
    ○ 전자빔을 시료에 주사하여 시료로부터 발생한 이차전자 및 X-ray를 검출하여 고분해능의 이미지 및 성분분석이 가능한 장비이다. UHR-SEM은 세계 최고수준의 공간분해능(0.4nm @ 30keV)과 STEM(0.5nm @ 30keV)을 가지고 있어, 10nm 이하의 나노입자, 나노박막 등의 표면·구조 분석 및 EDX를 이용한 정성·정량을 분석할 수 있다.
    ○ 또한 번거로운 Pt 코팅의 과정이 필요치 않고, 자장을 띤 물체에 대해서도 원활하게 측정이 가능하다.
구성 및 성능
    ■주사전자현미경
    ○분해능
    - 0.4 nm @ 30keV
    - 0.5 nm @ 30keV (STEM)
    ○배율
    × 20 - × 800,000 or better
    ○전자광학계
    - Electron gun : Schottky field emission type electron gun(ZrO/W emitter)
    - Accelerating voltage : 0.1 to 30 kV or better
    - Max. probe current : Up to 100nA or better.
    ○EPMA
    - EDS : 125 eV or better resolution
    - WDS : Reproducibility of wavelength position ± 0.000014nm; Linearity of wavelength position ± 0.0002nm
활용분야
    ○나노사이즈의 입자, 박막두께 분석
    - 나노입자, 나노박막 표면 구조분석
    - 촉매관련 분야의 나노입자크기 분석 및 성분분석
    - 신소재 및 나노재료의 표면, 구조분석 및 성분분석
    - 금속, 암석등의 결정방위 분석
    - 시료의 grain size & grain boundary 분석
    - 시료의 phase identification, deformation, strain 등 분석
    ○이미지 및 성분분석 : 재료분야(분말, 박막, 나노입자 등)시료
    ○결정방위분석 : 금속 및 반도체

장비 공지사항


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