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전자현미분석기
Electron Probe Micro-Analyzer
| 영문약어 | EPMA |
|---|---|
| 장비명(한글) | 전자현미분석기 |
| 기기코드 | AE11 |
| 연구장비표준분류 | |
| 기기상태 | 양호 |
부서 및 장비담당자
| 지역 | 대덕본원 |
|---|---|
| 주소 | (34133) 대전광역시 유성구 과학로 169-148 한국기초과학지원연구원 |
| 보유센터 및 부서 | 대덕본원 연구장비평가·활용팀 |
| 장비담당자 | 이석훈 | 전화 | ◀ 전화기 아이콘을 누르시면 전화번호를 볼 수 있습니다. |
| 팩스 | 042-865-3939 |
| 메일 |
Spec 및 활용분야
| 원리 및 특징 |
장점으로는 높은 에너지 분해능, 비파괴 분석, 빠른 분석, 정확한 정량 화학분석, 적은양의 시료 분석 가능, Be - U까지 분석 가능, SEM 기능 동반 등이 있다. |
|---|---|
| 구성 및 성능 |
○가속전압 및 전류 (max) : 30kV, 100𝞵A ○전자 방출원 : W(텅스텐) ○탈출각 : 52.5도 ○관찰영상 : SEI, BSEI, ABSI, X선영상 (x100-x100,000) 및 광학영상(x400) ○정성 및 정량 화학분석 범위 : Be~U ○측정하한 : 100ppm (15kv, 20nA) ○정밀도 : 0.5%0 |
| 활용분야 |
○미세구조의 화학조성분석, 원소확산 및 분포 ○각종재료(신소재, 금속, 전자 및 반도체)의 화학특성분석 ○생물세포 및 의약품의 화학조성분석 ○지질박편, 연마편, 전지시료, 토양가루 등 고체 시료에 대한 함량분석 측정 |
장비 공지사항
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