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비행시간차이차이온질량분석기
Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer

분석장비 상세내역
영문약어 TOF-SIMS
장비명(한글) 비행시간차이차이온질량분석기 
기기코드 PH412
연구장비표준분류
기기상태 양호 
PH412.JPG

부서 및 장비담당자

부서 및 장비담당자
지역 부산센터 
주소 (46742)
부산광역시 강서구 과학산단1로 60번길 30 한국기초과학지원연구원 
보유센터 및 부서 부산센터 
장비담당자 진종성  성지영  이재영  
전화   ◀ 전화기 아이콘을 누르시면 전화번호를 볼 수 있습니다.
팩스 051-974-6116 
메일  

Spec 및 활용분야

Spec 및 활용분야
원리 및 특징
    시료 표면의 물질을 이온화하는데 펄스 일차이온빔(pulsed primary beam)을 사용하여 이온화된 시료표면의 이차이온들을 일정한 가속 전압으로 가속시켰을 때 이온원을 빠져나온 이온이 검출기까지 비행하는데 걸리는 시간을 측정하여 질량 스펙트럼을 분석하는 장비로 전자소자, 디스플레이소재, 바이오 물질 등의 유기 또는 무기화합물들을 정성/비교정량 분석 및 이미지 분석 가능
구성 및 성능
    ○ Spectroscopy mode
    - Surface Spectroscopy provides detailed elemental and molecular information from the outer monolayers
    ○ Imaging mode
    - For Surface Imaging a fine-focused primary ion beam scans the surface resulting in mass resolved secondary ion images (chemical maps)
    - Video control for precise sample navigation
    - Field of view from um2 to cm2
    ○ Depth Profiling
    - For Depth Profiling two ion beams (Cs, O2) and Gas(Ar) cluster source operate in the Dual Beam Mode. While the first beam is sputtering a crater, the second beam is progressively analysing the crater bottom
    ○ Detection of all elements and isotopes : H, H2,…
    ○ High sensitivity : ppm – ppb range
    ○ High lateral resolution
활용분야
    ○표면 스펙트럼 분석
    - 반도체, 태양전지, OLED, 고분자 등 소자의 표면분석에 따른 성분분석, 오염분석, 깊이에 따른 다층박막 포함 분포분석
    - 신소재 및 나노재료의 표면, 구조분석 및 성분분석
    - 금속, 산화물 등의 구성 이온분석
    - 전극물질 등 분말소재 및 소자의 성분 비교분석
    - 동위원소 분석
    - 수소(Mass 1) ~ 유기고분자 (~10,000)의 parallel mass 동시분석
    ○이미지 분석 : 재료분야(박막, 분말 등)시료 및 바이오 재료의 표면분석
    ○깊이 분석 : 3D 이미지 분석을 포함한 깊이에 따른 성분의 분포분석 등- 신청후 담당자와 분석가능 여부 토의

장비 공지사항


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