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장비 상세조회
비행시간차이차이온질량분석기
Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer
| 영문약어 | TOF-SIMS |
|---|---|
| 장비명(한글) | 비행시간차이차이온질량분석기 |
| 기기코드 | PH412 |
| 연구장비표준분류 | |
| 기기상태 | 양호 |
부서 및 장비담당자
| 지역 | 부산센터 |
|---|---|
| 주소 | (46742) 부산광역시 강서구 과학산단1로 60번길 30 한국기초과학지원연구원 |
| 보유센터 및 부서 | 부산센터 |
| 장비담당자 | 진종성 성지영 이재영 | 전화 | ◀ 전화기 아이콘을 누르시면 전화번호를 볼 수 있습니다. |
| 팩스 | 051-974-6116 |
| 메일 |
Spec 및 활용분야
| 원리 및 특징 |
|
|---|---|
| 구성 및 성능 |
- Surface Spectroscopy provides detailed elemental and molecular information from the outer monolayers ○ Imaging mode - For Surface Imaging a fine-focused primary ion beam scans the surface resulting in mass resolved secondary ion images (chemical maps) - Video control for precise sample navigation - Field of view from um2 to cm2 ○ Depth Profiling - For Depth Profiling two ion beams (Cs, O2) and Gas(Ar) cluster source operate in the Dual Beam Mode. While the first beam is sputtering a crater, the second beam is progressively analysing the crater bottom ○ Detection of all elements and isotopes : H, H2,… ○ High sensitivity : ppm – ppb range ○ High lateral resolution |
| 활용분야 |
- 반도체, 태양전지, OLED, 고분자 등 소자의 표면분석에 따른 성분분석, 오염분석, 깊이에 따른 다층박막 포함 분포분석 - 신소재 및 나노재료의 표면, 구조분석 및 성분분석 - 금속, 산화물 등의 구성 이온분석 - 전극물질 등 분말소재 및 소자의 성분 비교분석 - 동위원소 분석 - 수소(Mass 1) ~ 유기고분자 (~10,000)의 parallel mass 동시분석 ○이미지 분석 : 재료분야(박막, 분말 등)시료 및 바이오 재료의 표면분석 ○깊이 분석 : 3D 이미지 분석을 포함한 깊이에 따른 성분의 분포분석 등- 신청후 담당자와 분석가능 여부 토의 |
장비 공지사항
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