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장비 상세조회
집속이온빔 장치
Dual Beam FIB System
| 영문약어 | Dual Beam FIB System |
|---|---|
| 장비명(한글) | 집속이온빔 장치 |
| 기기코드 | KJ313 |
| 연구장비표준분류 | |
| 기기상태 |
부서 및 장비담당자
| 지역 | 광주센터 |
|---|---|
| 주소 | (61186) 광주광역시 북구 용봉로 77 전남대학교 내 한국기초과학지원연구원 |
| 보유센터 및 부서 | 광주센터 분석연구부 |
| 장비담당자 | 문원진 심남연 | 전화 | ◀ 전화기 아이콘을 누르시면 전화번호를 볼 수 있습니다. |
| 팩스 | 062-530-0519 |
| 메일 |
Spec 및 활용분야
| 원리 및 특징 |
2. 주사전자현미경에서와 같이 전자총에서 가속된 전자를 이용하여 시료의 표면을 관찰하거나 전자가 물질에 충돌할 때 발생하는 특성X-선을 이용하여 물질의 원소분석 활용 |
|---|---|
| 구성 및 성능 |
- Electron Beam Resolution(SEM or STEM mode) - 1.0nm at 30 kV SE resolution or better - 2.9nm at 1 kV SE resolution or better - 0.8nm at 30 kV STEM resolution or better - Ion beam resolution(FIB mode) - 5 nm at 30 kV or better - Accelerating voltage: 100 V to 30 kV or better - Magnification: 30x to 1000Kx or better - Schottky thermal field emitter and available unicolor optics. - Acceleration voltage: 1.0 to 30 kV or better ○3D EDS System - Active area : 50mm2 or better - Energy resolution : ≤ 123eV, stable energy resolution at Mn ○Cryo-FIB fabrication System |
| 활용분야 |
○ 다층박막의 단면 시료제작 및 반도체기판의 설계, 회로변경·보수 등 분석지원 고도화에 활용 ○ 전주기적투과전자현미경 분석시스템의 주요핵심장비로 활용 ○ TEM sampling of pinpoint area ○ TEM sampling of only one specimen |
장비 공지사항
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이용자 리뷰
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| 상담분야 | ARS | 상태 |
|---|---|---|
| 바이오 분야 |
1 |
부재 |
| 소재 분야 |
2 |
부재 |
| 환경 분야 |
3 |
재실 |
| 총괄/기타 |
4 |
재실 |
