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장비 상세조회

주사전자현미경
Scanning microscope

분석장비 상세내역
영문약어 SEM
장비명(한글) 주사전자현미경 
기기코드 OL102
연구장비표준분류
기기상태  
OL102.jpg

부서 및 장비담당자

부서 및 장비담당자
지역 대덕본원 
주소 (34133)
대전광역시 유성구 과학로 169-148 (어은동) 한국기초과학지원연구원 
보유센터 및 부서 대덕본원 오픈랩운영팀 
장비담당자 박지인  이영부  
전화 042-865-3989, 042-865-3988 
팩스  
메일 jipark@kbsi.re.kr  

Spec 및 활용분야

Spec 및 활용분야
원리 및 특징
    [해당장비는 대덕본원 스마트오픈랩에서 운영되고 있으며, 장비사용 안내는 http://openlab.kbsi.re.kr 의 ‘이용안내’를 참고하시기 바랍니다.]

    SEM 구동 원리 는 상부에 위치한 E-GUN의 Filament로 부터 전자 빔이 방출 되어 각각의 components를 지나 시료에 전자 빔이 조사되고 시료에 조사된 전자 빔과 시료에서 반응 및 반사되어 나오는 각 전자를 검출기가 검출 하여 이미지로 만들어 냅니다.
구성 및 성능
    - Resolution: 3 nm at 30kV
    - Magnification: 13-1,000,000x in Resolution at 30kV
    - Accelerating voltage: 200v to 30kV
    - Electron Gun: Tungsten heated cathode
    - Probe Current: 1 pA to 2 μA
    - Chamber: Internal Diameter: 230mm
    - Number of Ports: 11
    - Door Width: 148 mm
    - Specimen Stage:
    Type: semi-compucentric
    Movements: X = 40 mm – motorized (-20 mm to +20 mm)
    Y = 40 mm – motorized (-10 mm to +30 mm)
    Z = 47 mm – motorized
    - Rotation: 360° continuous - motorized
    - Tilt: manual: -75° to +50° from WD 15mm and for eucentric height of
    the specimen
    - Maximum specimen height: 60 mm
    - Detectors: Standard: SE - ET type (YAG Crystal)
    - Chamber vacuum: < 1x10-2 Pa
    - Column vacuum: < 1x10-2 Pa
활용분야
    1) 미세구조해석
    2) 금속, 세라믹, 고분자 표면분석
    3) 철강 신소재 구조분석
    4) 반도체의 결정립 구조분석
    5) 생물시료의 특성 분석
    6) 다층박막 두께 및 계면의 조성도 분석
    7) 금속, 박막 등 파단면 분석


장비 공지사항


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