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다목적 X-선 회절분석기
Multi-Purpose X-ray Diffractometer

분석장비 상세내역
영문약어 XRD
장비명(한글) 다목적 X-선 회절분석기 
기기코드 OL103
연구장비표준분류
기기상태  
OL103.jpg

부서 및 장비담당자

부서 및 장비담당자
지역 대덕본원 
주소 (34133)
대전광역시 유성구 과학로 169-148 한국기초과학지원연구원 
보유센터 및 부서 대덕본원 오픈랩운영팀 
장비담당자 이영부  박지인  
전화 042-865-3988, 042-865-3989 
팩스 042-865-3958 
메일 yblee@kbsi.re.kr  

Spec 및 활용분야

Spec 및 활용분야
원리 및 특징
    [해당장비는 대덕본원 스마트오픈랩에서 운영되고 있으며, 장비사용 안내는 http://openlab.kbsi.re.kr 의 ‘이용안내’를 참고하시기 바랍니다.]

    ■XRD는 시료에 X선을 조사하여 발생하는 X선을 이용한 분석법으로 X선을 결정에 부딪히게 하면 그중 일부는 회절을 일으키고 그 회절각과 강도는 물질 구조상 고유한 것으로서 이 회절 X선을 이용하여 시료에 함유된 결정성 물질의 종류와 양에 관계되는 정보를 알 수 있음. 이와 같이 결정성 물질의 구조에 관한 정보를 얻기 위한 분석방법이 X선 회절법임.
구성 및 성능
    X-선과 물질의 상호작용 중 회절, 반사 및 산란측정을 통해 다양한 응용분야에 활용되는 물질에 대한 결정구조분석을 Pre-Fix개념으로 최적화된 고성능 분석용 광학계로 구성.
    - 초고속 회절분석을 통한 결정상 정성 정량 분석
    - X-선 산란측정
    - 고(중간) 분해능 분석용 광학계분석용 광학계로 구성.

    1) Main System
    - 3KW X-ray generator
    - Special Ceramic LFF Cu X-ray tube
    2) Optical Modules
    - PreFix optics for line and point focus
    - Focusing & parallel mirror
    - Hybrid monochromator :
    - PDS, PASS, PRS, Collimators for Thin Film
    - TAD용 analyzer crystal : 3-bounce
    3) Sample Stage
    - 5-axis stage (X-Y-Z-Tilt-Phi)
    - Reflection/Transmission stage
활용분야
    1) 단. 다결정시료의 결정상 정성 정량 분석
    2) 반사/ 투과 모드에 의한 초고속 회절분석
    3) 고(중간) 분해능 및 단.다층 구조 박막 특성 분석
    : Epitaxy의 mismatch, composition, thickness
    : Super lattice 박막
    : 역격자 공간 산란분포(RSM)측정
    4) X-선 반사측정을 통한 박막의 두께, 밀도 및 표면/ 계면 거칠기 측정 및 해석
    5) X-선 산란측정을 통한 Nano particle분포 분석
    6) Focusing Mirror를 활용한 특성 분석 등

장비 공지사항


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