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장비 상세조회

모노&이중수차보정 투과전자현미경
Double Cs & Monochromated Transmission Electron Microscope

분석장비 상세내역
영문약어 Cs TEM
장비명(한글) 모노&이중수차보정 투과전자현미경 
기기코드 SE103
연구장비표준분류
기기상태 양호 
SE103.jpg

부서 및 장비담당자

부서 및 장비담당자
지역 서울센터 
주소 (02841)
서울시 성북구 안암로 145 고려대학교안암캠퍼스(자연계) 한국기초과학지원연구원 
보유센터 및 부서 서울센터 
장비담당자 백현석  
전화 02-6943-4123 
팩스 02-920-0708 
메일 baikhs@kbsi.re.kr  

Spec 및 활용분야

Spec 및 활용분야
원리 및 특징
    - 영상, 회절, 분광기능을 사용하여 분석대상 물질의 형태, 결정구조, 성분의 정보를 알아냄.
    - 분광과 영상을 조합하여 분광 영상 가능(분광: EDX, EELS)
    - 영상과 회절을 조합하여 회절 영상 가능
구성 및 성능
    - Monochromated Gun: nA 수준의 전자빔 밀도 조절)
    - 집속렌즈 수차보정기(Condeser Lens Aberration Corrector): 분해능 0.063 nm
    - 대물렌즈 수차보정기(Objective Lens Aberration Corrector): 분해능 0.063 nm
    - 4 방향 EDX 120mm2으로 1 atm% 성분 검출
    - Quantum 966 Mono EELS로 0.1 eV 에너지 분해능 분광가능
활용분야
    - Sub 5nm 나노 입자의 원자배열 영상, 성분위치확인(나노촉매개발, 양자점 연구)
    - 메모리, 디스플레이 소자 무기-무기, 유 무기 계면 영상화, 결합구조 정보 획득
    - 초박막 영상(60kV 가속전압)
    - 단일원자 영상화
    - 유/무기 계면 영상화(OLED 다층막)
    - 제올라이트, DDR 물질의 기공배열 영상 및 회절 패턴 획득
    - Clay Mineral 소량원소 규명

장비 공지사항


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