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글로우 방전 분광기
Glow Discharge Spectrometer(GDS)

분석장비 상세내역
영문약어 GDS
장비명(한글) 글로우 방전 분광기 
기기코드 PA314
연구장비표준분류
기기상태  
PA314.jpg

부서 및 장비담당자

부서 및 장비담당자
지역 부산센터 
주소 (46742)
부산광역시 강서구 과학산단1로 60번길 30 한국기초과학지원연구원 
보유센터 및 부서 부산센터 이온빔응용연구팀 
장비담당자 윤장희  
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Spec 및 활용분야

Spec 및 활용분야
원리 및 특징
    글로우방전 분광분석법(glow discharge spectrometry)은 벌크(bulk) 시료의 정성/정량분석과 코팅시료의 깊이방향 분석(depth profiling)이 가능하며 분석 시간이 빠르고 감도가 좋은 분석법이다. 특히, GD는 낮은 플라즈마 압력 상태에서 고체 시료로부터 이온들을 직접적으로 발생시킬 수 있으므로 spectrometry의 발광(emission)분광법의 source로 사용할 수 있다. 또한 glow discharge spectrometer(GDS)에 RF generator를 사용함으로서 분석의 응용 범위를 전도성 시료뿐만 아니라 부도체까지 확장시킬 수 있으며, 특히 normal RF와 pulsed RF를 병행하여 사용할 수 있기 때문에 유리, 세라믹, polymer 시료 등 온도에 민감한 시료 및 정밀한 depth profile이 요구되는 시료의 분석이 가능하다.
구성 및 성능
    ○Radio Frequency Glow Discharge Optical Emission Spectrometer

    ○Polychromator (Simultaneous)
    - Wavelength range : 110 - 900 nm
    - Grating density : 3000 gr/mm
    - Resolution : 14 pm
    - Detector : HDD(Dynamic range 5 x 1010)
    ○Monochromator (Sequential)
    - Wavelength range :160 - 510 nm
    - Grating density : 3600 gr/mm
    - Resolution : 0.009 nm
    - Detector : HDD
    ○RF generator (normal & pulsed)
    - Frequency : 13.56 Mhz
    - Power : 100 W, adjustable

    글로우방전 분광분석법(glow discharge spectrometry)은 벌크(bulk) 시료의 정성/정량분석과 코팅시료의 깊이방향 분석(depth profiling)이 가능하며 분석 시간이 빠르고 감도가 좋은 분석법이다. 특히, GD는 낮은 플라즈마 압력 상태에서 고체 시료로부터 이온들을 직접적으로 발생시킬 수 있으므로 spectrometry의 발광(emission)분광법의 source로 사용할 수 있다. 또한 glow discharge spectrometer(GDS)에 RF generator를 사용함으로서 분석의 응용 범위를 전도성 시료뿐만 아니라 부도체까지 확장시킬 수 있으며, 특히 normal RF와 pulsed RF를 병행하여 사용할 수 있기 때문에 유리, 세라믹, polymer 시료 등 온도에 민감한 시료 및 정밀한 depth profile이 요구되는 시료의 분석이 가능하다.
활용분야
    ○벌크 시편 화학조성 분석 및 코팅 시편의 깊이방향(~100 um) 화학조성 분석
    - 금속 합금(alloy)의 주원소 및 미량원소 정성, 정량분석
    - 반도체 multi layer 시편의 depth profile(계면 분석 포함)
    - 다양한 코팅시편(전도체 및 부도체)의 깊이방향 원소분포 분석
    - 금속 시편의 질화, 탄화층 분석
    - 금속 부식 층 분석
    - 수소(H) 원소 측정 가능측정, 분석가능 여부 문의
    기기이용신청 및 예약/접수(전화, 팩스, 우편가능)
    분석 후 결과 통보(E-mail, 직접, 팩스 등)

장비 공지사항


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